Am 16. Februar 2026 wurde das Team „Liquid Mirror“ der Technischen Universität Ilmenau mit einer bedeutenden Auszeichnung gewürdigt. Die Doktoranden Johannes Leineweber und Juan Sebastian Fischer Calderón wurden für ihre innovativen Ansätze zur kosteneffizienten Überwachung großformatiger Nanopräzisionsoptiken ausgezeichnet. Ihr Ziel ist es, hochgenaue interferometrische Messverfahren wirtschaftlicher zu gestalten. Dies soll durch die Anwendung von MEMS-basiertem Multiplexing erreicht werden.

Die Auszeichnung ist nicht nur eine Anerkennung der individuellen Leistungen der Teammitglieder, sondern auch das Resultat einer intensiven Zusammenarbeit mit der IMMS GmbH. Diese Kooperation beschäftigt sich mit der Untersuchung der technischen Machbarkeit der entwickelten Technologien.

Innovative Projekte neben „Liquid Mirror“

Weitere herausragende Projekte wurden ebenfalls ausgezeichnet. Dazu gehören:

  • HyCPower GmbH: Entwicklung einer Hochtemperatur-Membranlösung zur effizienteren Wasserstoffgewinnung aus Biogas.
  • Cucumber Company GmbH: Erstellung eines skalierbaren Funk-Audio-Assistenzsystems für Silent-Proben und Silent-Live-Formate.
  • Kites for Future: Entwicklung eines zuverlässigen Funkinterfaces für Flugwindkraftanlagen.
  • Alangu GmbH: Toolkit zur automatisierten Übersetzung in die deutsche Gebärdensprache.

Ein weiteres wichtiges Element in diesem Kontext ist InSignA (Intelligente Signalanalyse- und Assistenzsysteme). Diese Initiative bündelt die Kompetenzen verschiedener Fraunhofer-Institute, der IMMS GmbH sowie sieben Fachgebieten der TU Ilmenau. Ziel ist es, technologieorientierte Innovationen zu fördern.

Seit 2022 wird das iHUB-Pitch-Format genutzt, um solche Innovationen zu unterstützen. Die prämierten Teams erhalten finanzielle Mittel für Forschungsarbeiten, Machbarkeitsanalysen und Prototypenentwicklungen. Die TU Ilmenau bringt dabei ihre umfassende Expertise in Funktechnologien, Signalverarbeitung, Messtechnik, Bildverarbeitung und intelligente Assistenzsysteme ein.

Technologische Hintergründe

Ein zentraler Aspekt der Forschung und Entwicklungen am Fraunhofer IMS ist die Mikrosystemtechnik. Hier werden Foundry-Dienstleistungen angeboten, die besonders ausgefeilte Fertigungsprozesse nutzen. Der Reinraum bietet eine Lithografieauflösung von bis zu 0,35 µm, während die Justierung von Rückseite zu Vorderseite mit einer Genauigkeit von 200 nm möglich ist.

Die umfangreichen technischen Möglichkeiten umfassen unter anderem:

  • Abscheidung von reinem Bor als ultradünne Passivierung oder Kontaktierung.
  • Chip-zu-Wafer-Bonding für vereinzelte Schaltungen auf Wafern.
  • Plasmaprozesse wie Sputtern, reaktives Ätzen und Tiefenätzen.

Diese Verfahren sind für die Post-CMOS-Integration geeignet und ermöglichen die Abscheidung von Oxiden, Nitriden und metallischen Schichten. Mit umfangreicher Charakterisierung und Analytik wird die Entwicklung unterstützt, um die innovativen Ansätze weiter voranzutreiben. Die verfügbaren Geräte umfassen zeitgemäße Technologien wie 3D-Mikroskope und Rasterelektronenmikroskope.

Insgesamt zeigt die erfolgreiche Auszeichnung des „Liquid Mirror“-Teams die Innovationskraft der TU Ilmenau und ihrer Partner und hebt die Bedeutung hochwertiger Forschung für die technologieorientierte Entwicklung in Deutschland hervor. Die Kombination aus theoretischer Exzellenz und praktischer Umsetzung steht im Zentrum der regionalen Forschungsanstrengungen, die mit diesen Projekten gefördert werden.

Für weitere Informationen zu den Entwicklungen an der TU Ilmenau besuchen Sie bitte die TU Ilmenau und den Fraunhofer IMS.