科学家发现极低温度下沉积钴的新工艺

科学家发现极低温度下沉积钴的新工艺

的科学家 开姆尼茨理工大学 和德斯 弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所 ENAS 开发了原子层沉积的创新工艺。这种新颖的工艺能够在 50 °C 至 110 °C 的温度下沉积超薄金属钴层，这在以前的制造技术中是不可能的。

积极参与开发的博士生 Mathias Franz 强调，这个温度范围代表了一项重大成就。该研究成果已发表在《Journal of Vacuum Science & Technology A》开放获取出版物上。

技术展示

为了说明这一过程的优点，我们创建了微米尺度的气候图，显示了自 1881 年以来德国的平均气温。条形宽度为 150 微米，高度为 80 微米，单个条形宽度仅为半微米。一根人的头发就可以完全遮盖这张图。

使用 200 mm 硅盘作为测试结构来演示该过程。其上涂有一层薄薄的光致抗蚀剂。然后使用投影光刻通过铬掩模将该结构转移到光致抗蚀剂中。曝光后，去除光刻胶的曝光区域，仅留下未曝光区域。这使得创建独特且高精度的结构成为可能。

该测试结构表现出令人印象深刻的坚固性，可承受高达 85°C 的温度和 1,500 次氢循环，突显了新工艺的效率。

气候传播及其意义

在德国，气候保护领域有效沟通的重要性不断增强。据那 联邦环境局 气候沟通对于克服气候危机的挑战和保护生命的自然基础至关重要。为了履行气候保护承诺，需要进行全面的政治、经济和社会变革。

要实现这些变革，必须采取法律和财务措施。公民的接受和支持在这一过程中发挥着核心作用。需要进行战略规划来确定沟通目标以及目标群体的具体需求和特征。

有效的沟通方法应基于价值观、情感和心理因素，并以科学文献为基础。联邦环境局的出版物将相关因素系统化，并得出有效的气候沟通方法，以促进有关气候保护的可持续对话。